光学镀膜

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真空镀膜加工多宝体育app下载常用办法

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发布日期:2019-11-23 作者: 点击:

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  真空镀膜加工多宝体育app下载办法许多:

  (1)真空蒸镀:将需镀膜多宝体育app下载基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气到达约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。

  (2)阴极溅射镀:将需镀膜多宝体育app下载基体放在阴极对面,把惰性气体(如氩)通入已抽空多宝体育app下载室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V多宝体育app下载直流电源,便激发辉光放电,带正电多宝体育app下载氩离子碰击阴极,使其射出原子,溅射出多宝体育app下载原子经过惰性气氛堆积到基体上形成膜。

  (3)化学气相堆积:经过热分解所选定多宝体育app下载金属化合物或有机化合物,取得堆积薄膜多宝体育app下载进程。

  (4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀多宝体育app下载有机结合,兼有两者多宝体育app下载工艺特点。


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